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红外气体传感器
Gasboard-2060
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
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产品特性
    • 使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
    • 响应时间快，高灵敏度
    • 无耗材
    • 模拟/数字通信
    • 模块化设计，便于集成

应用领域
    用于半导体行业薄膜沉积设备腔室清洁终点检测。
技术参数
检测原理 NDIR
检测气体 SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重复性 ±0.5%
线性 ±1%F.S.
检测限 1ppm

*具体参数请以规格书为准，如需获取更多技术信息，请联系：027-81628829或info@gasanalyzer.com.cn
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